Micro-Flow（微流量）傳感器技術(shù)的一種特殊形式叫做 Mass Extraction（質(zhì)量提取）技術(shù)，是為了達(dá)到更高的靈敏度，在真空條件下進(jìn)行測(cè)試。該方法結(jié)合傳感器設(shè)計(jì)，在連續(xù)體/滑流條件（淺真空）和過(guò)渡/分子流狀態(tài)（較高真空）下運(yùn)行。該技術(shù)還可用于包裝或電子機(jī)箱等密封容器的泄漏測(cè)試。
使用質(zhì)量流量技術(shù)在真空條件進(jìn)行的空氣泄漏測(cè)試
還可進(jìn)一步設(shè)置，例如，直接連接 UUT。將被測(cè)單元置于壓力條件低至 1 mbar 或更低的真空室中。在腔室抽真空之后，腔室和真空容器之間的余流可用于確定被測(cè)零件的泄漏率。 憑借該方法，靈敏度可達(dá) 7 · 10-7 mbar · l/s。
ATC （真空質(zhì)量提取法） 檢漏儀 產(chǎn)品特點(diǎn)
特別適用于密封物體（例如 CCIT*）
不使用示蹤氣體的無(wú)損檢測(cè)
非常高的靈敏度——檢測(cè)低至 7 · 10-7 mbar · l/s (<2 μm) 的泄露率
用于更大缺陷的獨(dú)立粗略泄露測(cè)試——快速可靠地檢測(cè)略粗泄露
受環(huán)境變化的影響最小——大大減少了環(huán)境變化造成的虛假結(jié)果
高準(zhǔn)確性——允許設(shè)定較高產(chǎn)率的閾值，而不會(huì)有通過(guò)不良部分的風(fēng)險(xiǎn)
可重復(fù)性——減少虛假故障，這是一個(gè)代價(jià)非常高的問(wèn)題
對(duì)零件尺寸不敏感——一臺(tái)裝置適合多種尺寸的零件，降低風(fēng)險(xiǎn)和時(shí)間
無(wú)需每日校準(zhǔn)—具有可追溯測(cè)試泄漏的穩(wěn)定測(cè)試條件
在行業(yè)中獲得認(rèn)可，如制藥 USP <1207>——簡(jiǎn)單的工藝驗(yàn)證